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集束型薄膜沉积系统

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集束型薄膜沉积系统是专为集成电路先进制造工艺开发的薄膜沉积系统,标配8英寸样品托,可兼容12英寸。可搭载ALD、PECVD、PVD等工艺系统,控制面板可分立或集成,设备可穿墙安装

关键词:
集束
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