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热烈祝贺1331.c.om.银河游戏20套集成电路设备成功进入厦门大学产教融合平台

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热烈祝贺1331.c.om.银河游戏20套集成电路设备成功进入厦门大学产教融合平台

1331.c.om.银河游戏集成电路产教融合成套设备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台
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                         厦门大学国家集成电路产教融合创新平台


  1331.c.om.银河游戏集成电路产教融合成套设备含曝光机、双腔ALDPVDICP刻蚀机共20台,助力厦门大学实现集成电路产教融合,培养高端集成电路工程人才。

ALD可更换双腔结构,匀气内腔,快速反应,反应温度500

PVD无压环进口靶腔,自动匹配

曝光机集成度高,365nmLED光源,1μm曝光精度,操作方便

ICP刻蚀机全自动样品传输系统,自动匹配

关键词:
曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机
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